標準漏孔產(chǎn)品介紹
標準漏孔是一種具有已知、穩(wěn)定泄漏率的精密計量元件,主要用于校準氦質(zhì)譜檢漏儀、真空計等檢漏設備,也可用于檢漏方法驗證、漏率標定及檢漏系統(tǒng)性能測試,是真空檢漏領域中保障檢測精度的核心基準器件。
標準漏孔產(chǎn)品介紹
標準漏孔是一種具有已知、穩(wěn)定泄漏率的精密計量元件,主要用于校準氦質(zhì)譜檢漏儀、真空計等檢漏設備,也可用于檢漏方法驗證、漏率標定及檢漏系統(tǒng)性能測試,是真空檢漏領域中保障檢測精度的核心基準器件。

·納米級毛細管技術(shù) ·精準穩(wěn)定的泄漏量 ·多量級漏率定制 ·支持指定氣壓定制
·支持多種氣體 ·支持仿型定制 ·抗震、抗摔超 ·長使用壽命

一、核心定義與作用
標準漏孔是人為制造的、包含固定微小通道的裝置,在規(guī)定的溫度、壓力條件下,能產(chǎn)生可重復、可溯源的氣體泄漏率,其泄漏率數(shù)值需經(jīng)權(quán)威計量機構(gòu)校準并出具證書。
核心作用
·校準檢漏儀:標定氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度、線性度,確保檢漏儀讀數(shù)準確可靠。
·驗證檢漏方法:測試氦氣吸槍等檢漏工具的檢測能力,判斷檢漏流程是否合理。
·標定產(chǎn)品漏率:為待測工件的泄漏量提供定量參考標準,區(qū)分合格與不合格品。
·計量溯源:作為真空檢漏領域的計量標準,實現(xiàn)漏率量值的統(tǒng)一傳遞。
二、工作原理
標準漏孔的核心是人為構(gòu)建的微小通道(如毛細管、微孔薄膜、滲透間隙等),氣體通過該通道的泄漏過程遵循特定物理規(guī)律(如粘滯流、分子流或過渡流規(guī)律),具體原理分兩類:
2.1基于流導控制的泄漏
適用于毛細管型、狹縫型標準漏孔。當漏孔兩端存在穩(wěn)定壓差時,氣體分子在壓力驅(qū)動下通過微小通道。
·低壓強下(漏孔內(nèi)為分子流狀態(tài)):泄漏率僅與氣體種類、溫度、通道幾何尺寸有關,數(shù)值穩(wěn)定。
·高壓強下(粘滯流狀態(tài)):泄漏率與氣體壓力平方差成正比,需嚴格控制使用壓力。
2.2基于滲透效應的泄漏
適用于滲透型標準漏孔。氣體分子(如氦氣)先吸附在漏孔一側(cè)的滲透膜表面,再擴散穿過膜體,最后在另一側(cè)解吸逸出。其泄漏率僅與溫度、膜材料特性相關,受壓力影響較小,適用于極低漏率場景。
關鍵參數(shù):泄漏率
·定義:單位時間內(nèi)通過漏孔的氣體量,常用單位為 Pa·m3/s(國際標準),也可用 atm?cm3/s、mbar?L/s 等。
·量級范圍:標準漏孔的泄漏率覆蓋極寬,從 (大漏)到 (微漏),滿足不同檢漏場景需求。
三、分類及特點
根據(jù)制造原理和結(jié)構(gòu),標準漏孔主要分為以下 4 類:
類型 | 結(jié)構(gòu)特點 | 適用場景 | 優(yōu)缺點 |
毛細管型標準漏孔 | 金屬毛細管(內(nèi)徑 μm 級)+ 閥體 + 接頭,兩端壓差驅(qū)動氣體流動 | 常規(guī)工業(yè)檢漏校準(如汽車、壓力容器) | 優(yōu)點:穩(wěn)定可靠、成本適中;缺點:漏率受壓力影響大,需控制工況 |
薄膜型標準漏孔 | 超薄金屬膜或陶瓷膜上制備微孔,通道更均勻 | 高精度檢漏儀校準(如半導體、航天) | 優(yōu)點:漏率精準、重復性好;缺點:易受沖擊損壞,價格較高 |
滲透型標準漏孔 | 氦氣透過特種聚合物膜或金屬鈀膜實現(xiàn)泄漏 | 超高靈敏度檢漏(如核工業(yè)、MEMS 器件) | 優(yōu)點:漏率受壓力影響小、長期穩(wěn)定;缺點:僅適用于特定氣體(如氦氣),溫度系數(shù)需修正 |
擴散型標準漏孔 | 氣體通過多孔介質(zhì)的分子擴散實現(xiàn)泄漏 | 真空系統(tǒng)漏率標定 | 優(yōu)點:抗污染能力強;缺點:漏率溫度系數(shù)較大 |
此外,按使用氣體可分為通用型(適用于空氣、氮氣、氦氣)和專用型(僅適用于氦氣,
如滲透型);按安裝方式分為固定式和便攜式。
四、結(jié)構(gòu)組成
無論哪種類型,標準漏孔的基本結(jié)構(gòu)都包含以下核心部件:
·漏孔芯:最關鍵的部分,是氣體泄漏的通道(毛細管、微孔膜、滲透膜等),決定漏率大小和穩(wěn)定性。
·閥體與調(diào)節(jié)閥:控制漏孔的開啟 / 關閉,部分型號可微調(diào)氣體流量,確保漏率穩(wěn)定。
·連接接頭:通常為 KF 快接接頭、螺紋接頭等,適配氦質(zhì)譜檢漏儀或真空系統(tǒng)的接口。
·外殼與保護結(jié)構(gòu):金屬外殼,防止漏孔芯受機械沖擊、灰塵污染,部分型號內(nèi)置溫度傳感器,用于漏率溫度修正。
·校準標簽:標注出廠校準的漏率值、校準溫度、適用氣體、有效期等關鍵信息,是計量溯源的依據(jù)。
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北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司網(wǎng)站上線了
2025/12/23北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司(簡稱:科儀創(chuàng)新)是位于北京、專業(yè)從事真空領域的企業(yè)。公司始終堅持以人為本,追求品質(zhì),造就了團…