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真空箱氦檢設(shè)備是電力行業(yè)用于檢測(cè)高壓開關(guān)設(shè)備、GIS 等密封容器微小泄漏的精密儀器，采用氦氣作為示蹤氣體，利用氦質(zhì)譜原理進(jìn)行高精度檢測(cè)。
一、基本概念與原理
真空箱氦檢設(shè)備是電力行業(yè)用于檢測(cè)高壓開關(guān)設(shè)備、GIS 等密封容器微小泄漏的精密儀器，采用氦氣作為示蹤氣體，利用氦質(zhì)譜原理進(jìn)行高精度檢測(cè)。
核心原理：
將被檢工件置于密閉真空箱內(nèi)，同步抽真空至低氣壓 (≤10Pa)，確保內(nèi)外壓差≤0.02MPa，防止薄壁工件變形
向工件充入≤0.03MPa (絕對(duì)壓力) 氦氣，箱內(nèi)保持真空環(huán)境
氦氣分子通過微小漏孔從工件內(nèi)部泄漏至箱內(nèi)，被氦質(zhì)譜檢漏儀捕捉并量化
檢測(cè)靈敏度可達(dá) 10??~10?12 Pa?m3/s，能檢測(cè)出年泄漏率≤0.1% 的微漏
二、系統(tǒng)組成與關(guān)鍵部件
·1. 真空箱系統(tǒng)
定制化內(nèi)腔尺寸，適配不同電力設(shè)備 (如開關(guān)柜、環(huán)網(wǎng)柜)
不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)壁拋光處理，減少氦氣吸附與本底干擾
左右滑動(dòng)門設(shè)計(jì)，PLC 控制自動(dòng)開合，確保密封性
·2. 真空抽氣系統(tǒng)
多級(jí)真空泵組 (機(jī)械泵 + 渦輪分子泵)，極限真空≤10Pa
高精度真空測(cè)量裝置 (電容薄膜規(guī) + 電離規(guī))，監(jiān)控壓力變化
·3. 氦質(zhì)譜檢漏核心
四極桿質(zhì)譜分析器，專用于檢測(cè)氦離子 (質(zhì)量數(shù) 4)
檢測(cè)精度達(dá) 5×10?12 Pa?m3/s，能區(qū)分氦氣與其他氣體
·4. 充氣回收系統(tǒng)
氦氣高壓儲(chǔ)罐 (99.999% 純度)，精確控制充入壓力
氦氣回收裝置，回收率 > 98%，大幅降低使用成本
·5. 電控系統(tǒng)
PLC + 觸摸屏，全自動(dòng)控制檢測(cè)流程，實(shí)時(shí)顯示參數(shù)與結(jié)果
多重安全保護(hù)：光柵防護(hù)、電氣互鎖、密碼控制、聲光報(bào)警
三、詳細(xì)步驟：
·同步抽真空：真空箱與工件同時(shí)抽至低真空，監(jiān)測(cè)壓力變化，判斷是否存在大漏
·充氦檢測(cè)：工件充入≤0.03MPa 氦氣，真空箱維持高真空，氦質(zhì)譜儀捕捉泄漏信號(hào)
·氦氣回收：檢測(cè)后回收工件內(nèi)殘留氦氣，回收率 > 95%，循環(huán)利用
參數(shù)項(xiàng) | 典型值 | 說明 |
檢測(cè)精度 | 10??~10?12 Pa·m3/s | 可檢出年泄漏率≤0.1% 的微漏 |
檢測(cè)節(jié)拍 | 25~60 分鐘 / 次 | 視工件體積而定，大型設(shè)備需時(shí)較長(zhǎng) |
氦氣回收率 | >98% | 大幅降低運(yùn)行成本，環(huán)保節(jié)能 |
最大工件尺寸 | 定制 (如 900×2000×2200mm) | 根據(jù)電力設(shè)備實(shí)際尺寸設(shè)計(jì) |
內(nèi)外壓差 | ≤0.02MPa | 保護(hù)薄壁電力設(shè)備不變形 |
真空極限 | <10Pa | 確保檢測(cè)靈敏度 |
四、核心優(yōu)勢(shì)：
高精度：可檢測(cè)小至每秒幾個(gè)氦原子的泄漏，遠(yuǎn)超傳統(tǒng)氣泡法、壓降法
無損檢測(cè)：對(duì)工件無損傷，不影響設(shè)備性能和使用壽命
定量分析：直接顯示泄漏率數(shù)值，便于質(zhì)量管控和追溯
適用范圍廣：特別適合檢測(cè)電力行業(yè)的 SF6 充氣柜、GIS、環(huán)網(wǎng)柜等薄壁密封設(shè)備
科儀創(chuàng)新主營(yíng)業(yè)務(wù)
2025/12/23科儀創(chuàng)新主營(yíng)業(yè)務(wù)：氦質(zhì)譜檢漏儀、氣密性檢測(cè)儀、真空箱氦檢漏設(shè)備、真空箱式氦檢漏系統(tǒng)、真空箱氦檢漏回收系統(tǒng)、SF6回收設(shè)備、充…北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司網(wǎng)站上線了
2025/12/23北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱：科儀創(chuàng)新）是位于北京、專業(yè)從事真空領(lǐng)域的企業(yè)。公司始終堅(jiān)持以人為本，追求品質(zhì)，造就了團(tuán)…技術(shù)支持：云鼎大數(shù)據(jù)